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優(yōu)點：
 
■測量范圍廣：5 X 10 -7～1 Pa
 
■全金屬冷陰極陶瓷傳感器
 
■新型幾何電極提供了極好的點火性能
 
■降低等離子點火高電壓和鈦陰極板污染的危險，即使在氬濺射過程中也一樣
 
■陽極環(huán)和鈦陰極可清洗，更換容易
 
■最小磁場強度測量
 
■ LED指示燈電源和等離子點火
 
■對數(shù)模擬輸出信號
 
■ Fieldbus總線接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系統(tǒng)的網絡通信